Тауметр 2М
Прибор «Тауметр 2М» является автоматизированным контрольно-измерительным прибором, предназначенным для измерения времени жизни неравновесных носителей заряда в пластинах и слитках монокристаллического и мультикристаллического кремния бесконтактным сверхвысокочастотным методом. Диаметр измеряемых пластин – до 200 мм.
Генерация избыточных носителей заряда осуществляется воздействием на измеряемый полупроводниковый образец импульсным лазерным излучением. Измерения эффективного времени жизни неосновных носителей заряда выполняются по спаду фотопроводимости в автоматическом режиме с управлением от персонального компьютера.
Расчет объемного времени жизни неосновных носителей заряда осуществляется по международным стандартам SEMI MF1535 и SEMI MF28.
Прибор «Тауметр 2М» уже поставлен на заводы по производству кремния, в научно-исследовательские институты, имеются экспортные поставки.
При необходимости вертикальную стойку прибора изготовим удлиненную (по желанию заказчика) – для высоких образцов.
С техническими характеристиками и прочей информацией можно ознакомиться в спецификации.
