Рометр
Прибор «Рометр» предназначен для измерения сопротивления пластин и слитков монокристаллического кремния четырехзондовым методом. Измерения проводятся в автоматическом и ручном режимах. Прибор позволяет проводить измерения в одной точке заданное количество раз, в шести точках согласно стандарту ASTM84, а также измерять в автоматическом режиме карту сопротивлений на пластинах диаметром до 300 мм.
Разработанный автоматизированный измеритель УЭС пластин и слитков монокристаллического кремния по своим техническим характеристикам не уступает хорошо известным зарубежным аналогам.
Прибор «Рометр» сертифицирован. В соответствии с сертификатом утвержден тип измерителей удельного сопротивления кремния «Рометр», который зарегистрирован в Государственном реестре средств измерений под № 35567-07 и допущен к применению в Российской Федерации.
Прибор «Рометр» уже поставлен на ряд заводов по производству кремния, в научно-исследовательские институты, имеются экспортные поставки.
Измерение удельного электрического сопротивления монокристаллического кремния осуществляется четырехзондовым методом. Измерения проводятся в ручном и автоматическом режимах. Автоматическое измерение распределения удельного электросопротивления по поверхности пластин и слитков выполняется для пластин диаметром не более 200 мм и слитков высотой не более 500 мм. Минимальная ширина измеряемого образца 8 мм.
По желанию Заказчика измерительный столик может быть доработан.
С техническими характеристиками и прочей информацией можно ознакомиться в спецификации.
