Тауметр 2М

Прибор «ТАУМЕТР-2М» является автоматизированным контрольно-измерительным прибором, предназначенным для измерения времени жизни неравновесных носителей заряда в пластинах и слитках монокристаллического и мультикристаллического кремния бесконтактным сверхвысокочастотным методом. Диаметр измеряемых пластин - до 300 мм.

Генерация избыточных носителей заряда осуществляется воздействием на измеряемый полупроводниковый образец импульсным лазерным излучением. Измерения эффективного времени жизни неосновных носителей заряда выполняются по спаду фотопроводимости в автоматическом режиме с управлением от персонального компьютера.

Расчет объемного времени жизни неосновных носителей заряда осуществляется по международным стандартам SEMI MF 1535 и SEMI MF 28.

Прибор «Тауметр-2М» уже поставлен на заводы по производству кремния, в научно-исследовательские институты, имеются экспортные поставки.

С техническими характеристиками и прочей информацией можно ознакомиться в спецификации.