«ROMETER»
COMPUTER-AIDED SILICON RESISTIVITY METER
BASED ON FOUR-POINT PROBE METHOD

Designer:  SPF «Electron», 660036, Russia, Krasnoyarsk, Akademgorodok 50,   tel. (391)2905494, e-mail: shepov@ksc.krasn.ru

MAIN TECHNICAL SPECIFICATIONS:

1.    Measurements according to Standards:   SEMI MF43, SEMI MF81, SEMI MF84
2.    Measurement range of resistivity, Ohm×cm:       from 0,001 to 10 000
3.    Limits of allowable relative measurement error, %:      not more than:
for resistivity within the range 0.001 – 0.01 Ohm×cm :       ±3
for resistivity within the range 0.011 – 10000 Ohm×cm:      ±2
4.     Measurements of silicon ingot and wafer diameter, mm, up to      300
5.     Automatic positioning accuracy, mm       0.5
The size of positioning stage can be changed on request

The instrument was certified in 2017. According to the certificate the silicon resistivity meter  "ROMETER" was registered in the State catalog of measuring devices as №35567-17.

АВТОМАТИЗИРОВАННЫЙ ИЗМЕРИТЕЛЬ УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРОСОПРОТИВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ ЧЕТЫРЕХЗОНДОВЫМ МЕТОДОМ «РОМЕТР»

Характеристика

Прибор «РОМЕТР» является электронным контрольно-измерительным прибором, предназначенным для измерения удельного электрического сопротивления пластин и слитков монокристаллического кремния четырехзондовым методом в автоматическом режимe с управлением от персонального компьютера.

Прибор разработан в соответствии с требованиями международных стандартов SEMI MF 84, SEMI MF 1527, SEMI MF 81.

Технические характеристики

- Диапазон измерения удельного электрического сопротивления

от 0,001 до 10 000 Ом×см,

- Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерения, %, не более:

для удельных электрических сопротивлений в диапазоне 0.001 – 0.01 Ом×см±3

для удельных электрических сопротивлений в диапазоне 0.011 – 10000 Ом×см±2

- Габаритные размеры прибора не более 560 х 320 х 410 мм,

- Масса прибора не более 25 кг,

- Потребляемая мощность не более 70 ВА

Технико-экономические преимущества

- Автоматизированный процесс измерений.

- Возможность измерения распределения удельного электросопротивления по поверхности пластин диаметром до 300 мм.

Области применения

- Промышленное производство пластин и слитков монокристаллического кремния.

- Научные исследования

- Образование

Уровень и место практической реализации

Начато мелкосерийное производство в ООО НПФ «Электрон».

Патентная защита

Прибор сертифицирован в Государственном реестре средств измерений под №35567-07.

Коммерческие предложения

Изготовление по заказу.

Ориентировочная стоимость

Договорная.